Case Study Griglia FRP | Sottopavimento Rialzato per Cleanroom — ZeAllgrate

Un cleanroom per microelettronica Classe 1000 (ISO 6) necessitava di un sottopavimento rialzato sotto le sue apparecchiature di processo, sotto le piastrelle del pavimento di accesso rialzato. Il sottopavimento doveva sostenere il peso degli strumenti di processo e dei carrelli di manutenzione, fornire accesso sicuro alle utenze sotto pavimento (energia, gas, scarico), e — cosa critica — dissipare l'elettricità statica così che tecnici e carrelli non potessero generare scariche elettrostatiche (ESD) che avrebbero danneggiato i wafer. La griglia in acciaio standard è stata scartata perché può arrugginire e rilasciare particelle; l'alluminio è stato scartato perché può emettere gas e non è intrinsecamente antistatico senza un rivestimento conduttivo che si usura.

La progettazione ha specificato griglia stampata FRP antistatica (conduttiva) con una resistività superficiale controllata, resina a basso rilascio di gas e bordi lisci che non rilasciano particelle. L'identità del cliente è mantenuta riservata; il progetto è descritto come Cliente Riservato, un impianto di produzione di wafer semiconduttori.

ZeAllgrate ha fornito 750 m² di griglia stampata FRP antistatica da 38 mm in mini-maglia 19×19 mm, post-polimerizzata e lavata prima della spedizione per rimuovere tutta la polvere di resina e i residui di lavorazione. Ogni pannello è stato consegnato con un certificato di resistività superficiale di lotto che mostra 10⁶–10⁹ Ω/sq, e le clip SS304 conduttive sono state collegate alla barra di terra sotto pavimento così che l'intero sottopavimento forma un percorso ESD continuo. La superficie liscia e a non rilascio di gas non rilascia particelle come avrebbe la griglia in acciaio, e la maglia aperta consente ai tecnici di raggiungere valvole e canalette sotto pavimento senza sollevare le piastrelle del pavimento di accesso.

L'installazione è stata completata in una finestra di costruzione di due settimane tra le fasi di allestimento del cleanroom, con i pannelli trasportati a mano perché l'area del sottopavimento non era ancora classificata per l'accesso con gru. Tutti i bordi tagliati sono stati sigillati in fabbrica per prevenire il rilascio di fibra di vetro nel flusso d'aria del cleanroom.