FRP-решётка-кейс-исследование-|-Чистая-комната-поднятая-подпол-—-ZeAllgrate
Микроэлектроника-&-Чистая-комната-—-Проект-предыстория
Class-1000 (ISO-6)-микроэлектроника-чистая-комната-требовал-поднятая подпол-под-его-процесс-оборудование, под-поднятая-доступ-пол-плитки. Подпол должен-был-поддерживать-вес-процесс-инструменты-и-обслуживание-тележки, предоставлять-безопасный-доступ-к-под-пол-коммунальные (энергия, газ, выхлоп), и-—-критически-—-рассеивать-статическое-электричество-так-что-техники-и-тележки-could-not-генерировать-электростатический разряд (ESD)-который-бы-повредил-пластины. Стандартная-сталь-решётка-был-отклонённый-потому-что-она-can-ржавчина-и-осыпается-частицы; алюминий-был-отклонённый-потому-что-он-может-выделять-газы-и-is-не-присуще-антистатический-без-проводящее-покрытие-который-стирается.
Инженерия-specified-антистатическая (проводящая)-прессованная-FRP-решётка-с-контролируемый поверхностное-удельное-сопротивление, не-выделяющая-газы-смола, и-гладкие-кромки-которые-do-not-осыпается-частицы. Клиент-идентичность-is-державшийся-конфиденциальный; проект-is-описанный-как-Конфиденциальный-клиент, полупроводник-пластина-фабрика-объект.
Инженерная-спецификация
Рабочие-значения-согласованный-с-клиент-инженерия-команда-во-время-дизайн-ревью.
| Параметр | Выбранное-значение | Стандарт-/-Ссылка |
|---|---|---|
| Временный-нагрузка | 3.0-kN/m² (обслуживание-тележки-+-инструменты) | Чистая-комната-оборудование-дизайн-основа |
| Чистый-пролёт | 0.9-m-между-основания | ZeAllgrate-прессованная-решётка-дизайн-руководство |
| Прогиб-предел | L/150-на-дизайн-нагрузка | ZeAllgrate-стандарт |
| Смола-система | ZeAll-антистатический (проводящая-присадка) | ESD-контроль-/-не-выделяющая-газы |
| Поверхностное-удельное-сопротивление | 10⁶-–-10⁹-Ω/кв (статика-рассеивающий) | ESD-Ассоциация-/-чистая-комната-спецификация |
| Панель-толщина | 38-mm-прессованная, mini-mesh | ZeAllgrate-стандарт-прессованная-решётка |
| Сетка | Mini-mesh-19×19-mm | Коммунальные-доступ-+-частица-контроль |
| Поверхность | Гладкий, пост-отверждённый-и-вымытый | Нет-частица-осыпание |
| Выделение-газов | Низкое-выделение-газов-смола-система | Class-1000-чистая-комната-требование |
| Крепления | Проводящий-SS304-клипсы (заземлённый) | ESD-непрерывность-к-земля |
Что-был-поставленный-и-как-это-пошло-в
ZeAllgrate-поставил-750-m²-38-mm-антистатическая-прессованная-FRP-решётка-в mini-mesh-19×19-mm, пост-отверждённый-и-вымытый-перед-отгрузка-удалить-все-смола-пыль-и обработка-остатки. Каждая-панель-был-доставленный-с-партия-поверхностное-удельное-сопротивление-сертификат показывая-10⁶–10⁹-Ω/кв, и-проводящий-SS304-клипсы-были-привязанный-к-под-пол-земля шина-так-целый-подпол-формирует-непрерывный-ESD-путь. Гладкий, не-выделяющая-газы-поверхность do-not-осыпается-частицы-как-сталь-решётка-бы, и-открытая-сетка-позволяет-техники-достигать под-пол-клапаны-и-кабель-лотки-без-поднятие-доступ-пол-плитки.
Монтаж-был-завершённый-в-двух-недель-строительство-окно-между чистая-комната-отделка-фазы, с-панели-ручной-перенесённый-потому-что-подпол-область-был-ещё-не рейтинг-для-кран-доступ. Все-отрезные-кромки-были-запечатанный-в-фабрика-предотвратить-стекловолокно осыпание-в-чистая-комната-воздух-поток.
Антистатическая-mini-mesh-прессованная-FRP-решётка-для-чистая-комната-подпол
Фабрика-отрезной-FRP-решётка-панели-с-запечатанный-кромки
38-mm-прессованная-решётка-с-гладкий-не-выделяющая-газы-поверхность
Исходы-и-инспекция-находки
На-1-лет-инспекция, чистая-комната-оператор-доклад-стабильный-поверхность удельное-сопротивление, нет-частица-осыпание, и-нет-выделение-газов-проблемы-в-рутинный-воздух-образец-испытания. Подпол-сделал-под-пол-обслуживание-быстрее-потому-что-техники-can-стоять-на открытая-решётка-вместо-поднятие-и-замена-доступ-пол-плитки.
- ESD-контроль:-поверхностное-удельное-сопротивление-держался-на-10⁶–10⁹-Ω/кв-на-1-лет-инспекция; непрерывный-земля-путь-через-проводящий-клипсы.
- Чистота:-нет-частица-осыпание-от-запечатанный-кромки; нет-выделение-газов-обнаруженный в-рутинный-чистая-комната-воздух-отбор-проб.
- Доступ:-открытая-mini-mesh-позволяет-техники-достигать-под-пол-коммунальные-без поднятие-доступ-плитки; обслуживание-время-сократился.
- Коррозия:-неуязвимый-к-чистая-комната-химикаты-и-влажность; нет-ржавчина-осыпание.
- Срок-службы:-ожидаемый-20+-лет-против.-5–7-лет-для-окрашенный-сталь-подпол в-чистая-комната-служба.
Инженерные-заметки
Чистая-комната-подполы-are-specified-для-не-проводимость, низкое-осыпание-и-жёсткость-под-вибрация-чувствительный-инструменты: FRP-решётка-удаляет-заземление-бремя-металлический-подпол, гладкие-покрытые-поверхности-are-specified-где-частица-контроль-важен, и-прогиб-предел-применяется-строго-так-палуба-остаётся-жёсткий-под-инструмент-нагрузки. Vinyl-ester-is-specified-где-травители-и-кислоты-хранить-или-поток-под-фабрика. Панель-ориентация-и-вырезы-скоординированный-на-фабрика-чертёж-так-подпол-поддерживает-инструмент-раскладка-точно.
Что-specify
- Не-проводящий-прессованная-решётка; гладкий/покрытый-поверхность-где-частица-контроль-важен.
- Прогиб-предел-применённый-к-мезонин-сетка; жёсткий-под-инструмент-нагрузки.
- Vinyl-ester-где-кислоты/травители-контакт-палуба.
- Фабрика-чертёж-скоординированный-с-инструмент-раскладка.
- Не-проводящий-прессованная-решётка; гладкий/покрытый-поверхность-где-частица-контроль-важен.
- Прогиб-предел-применённый-к-мезонин-сетка; жёсткий-под-инструмент-нагрузки.
- Vinyl-ester-где-кислоты/травители-контакт-палуба.
- Фабрика-чертёж-скоординированный-с-инструмент-раскладка.
Планирование-подобный-FRP-решётка-проект?
Отправить-нас-ваш-раскладка-чертежи, служба-химикаты-и-пролёт-требования —-ZeAllgrate-будет-возвратить-дизайн-предложение, нагрузка-расчёт-и-справочная-ценообразование-в-48-часов.
- ZeAllgrate-прессованная-решётка-дизайн-руководство, нагрузка-и-прогиб-таблицы.
- ESD-Ассоциация-ANSI/ESD-S20.20-—-электростатический-разряд-контроль-программа.
- IEST-RP-CC012-—-чистая-комната-уборка-и-материал-выделение-газов-руководство.
- ISO-14644-—-чистая-комната-и-связанные-контролируемые-среды-классификация.
- Проект-инспекция-записи-поставленный-Конфиденциальный-клиент; значения-цитируемый-как-докладываемый.