Решения FRP-решётки для микроэлектроники и чистых помещений

Малопыльные, статически безопасные площадки для фабрик

Задача

Почему микроэлектронике и чистым помещениям нужен FRP

Полупроводниковые фабрики требуют материалов, которые не отделяют частицы, не генерируют статику и выживают агрессивные химикаты чистых помещений. FRP-решётка — неотделяющая, статически безопасная, химически инертная — защищает выход в самых чувствительных предприятиях мира.

Отделение частиц, загрязняющее пластины
Статический разряд, повреждающий электронику
Агрессивные моечные химикаты
Коррозионные технологические газы и выхлоп

Наше решение

Решения ZeAllgrate для микроэлектроники и чистых помещений

Гладкоячеистая прессованная решётка ZeAllgrate и крытые площадки спроектированы для сред чистых помещений и фабрик, с системами смолы, совместимыми с химическими протоколами фабрик.

Прессованная решётка Крышки решётки Системы поручней

Применения

Типовые применения

Мезонины чистых помещений

Хозяйственные настилы субфабрики

Площадки технологического инструмента

Зоны хранения химии

Доступ к зоне CMP

Палубы обслуживания пластиночной фабрики

Применения

Галерея проектов

Реальные продукты FRP-решётки ZeAllgrate и монтажи в службе по этой отрасли.

Гладкая малопыльная панель крышки FRP-решётки для полупроводникового чистого помещения и контроля ESD

Гладкая неотделяющая FRP-крышка для чистого помещения фабрики

FRP-крытая сплошная панель решётки в служебных коридорах субфабрики микроэлектроники

Крытая FRP-панель для хозяйных настилов субфабрики

Жёлтая прессованная FRP-квадратноячеистая панель решётки для площадок технологического инструмента полупроводниковой фабрики и зон обслуживания под ESD-управлением

Прессованная FRP-панель для площадок технологического инструмента фабрики

Технологические решения

Решения для каждой технологической зоны

Спроектированные FRP-решения, отображаемые на каждую стадию вашего объекта — от коррозионных технологических зон до маршрутов доступа с высоким трафиком.

Поднятый пол чистых помещений

Неотделяющий, под ESD-управлением FRP-пол для чистых помещений.

Прессованная решётка →Конструкционные профили →

Влажные технологические зоны

Коррозионностойкие площадки для влажных столов и химических ванн.

Прессованная решётка →Системы поручней →

Доставка химии

Дымостойкие настилы над системами доставки химии.

Прессованная решётка →

Зоны обслуживания и хозяйственные

Площадки над хозяйством с чистыми совместимыми материалами.

Пултрузионная решётка →

Инженерная справка

Технические характеристики и соответствие

Прикладная инженерная справка для микроэлектроники и чистых помещений — рейтинг коррозии, критерии нагрузки, регулирующие коды и рекомендованная конфигурация ZeAllgrate. Используйте это как отправную точку спецификации; окончательный проект должен быть верифицирован против сертифицированных графиков нагрузки/пролёта и регулирующих кодов проекта.

Параметр	Спецификация для микроэлектроники и чистых помещений
Уровень коррозии	Средний Химикаты влажного стола, кислотные/мыльные пары и строгие требования контроля частиц и ESD.
Типовые требования к нагрузке	Площадки субфабрики и технологического инструмента 50 psf (2,4 kN/m²) пешеходные; зоны оборудования поднятого пола спроектированы под точечные нагрузки инструмента (чиллеры, насосы).
Применимые стандарты и регламенты	SEMI (руководства по оборудованию и объектам), ISO 14644 (чистое помещение), JEDEC (контроль ESD/ESDS), FDA 21 CFR (если фабрики медицинских устройств), OSHA 1910.132 (СИЗ) и 1910.22.
Рекомендуемая система смолы	ZeAll FDA гладкая, неотделяющая, низкоэкстрагируемая марка для чистого помещения; ZeAll VE для влажного стола и зон доставки химии; опция под ESD-управлением (проводящая) там, где специфицирован контроль статики.
Рекомендуемый тип решётки	Прессованная 38,1 mm гладкий верх или сплошные крытые панели в классифицированных зонах; Пултрузионные профили в коридорах субфабрики/обслуживания; Mini-Mesh избегается там, где отделение частиц является риском.

Системы смолы: ZeAll VE (винилэфир — тяжёлая коррозия), ZeAll ISO (изофталевый полиэфир — общая служба), ZeAll FDA (пищевая/питьевая марка), ZeAll FR (дополнительно трудновоспламеняемая), Фенольная (критичная по огню/дыму). Типы решётки: Прессованная (двунаправленная), Пултрузионная (длиннопролётная), Mini-Mesh (мелкие отверстия), HLC (высокая несущая способность).

Эксплуатационные требования чистых помещений

Требование	Ответ ZeAllgrate
Неэлектропроводная конструкция	FRP по природе неэлектропроводен; нет нагрузки заземления
Низкое отделение частиц	Гладкие крытые поверхности там, где специфицировано
Зоны хранения химии	Винилэфир для контакта с кислотой/травителем
Моющаяся способность	Непористые, протираемые панели; заподлицо кромки

Руководство по спецификации

Мезонины чистых помещений и настилы субфабрики специфицируются на неэлектропроводность, низкое отделение и химическую стойкость: гладкие или крытые поверхности на ходовых палубах, винилэфир там, где хранятся или текут травители и кислоты, и таблица нагрузок, применённая к сетке мезонина с пределом прогиба, который поддерживает палубу жёсткой под виброчувствительным инструментом. Координируйте ориентацию панели и вырезы на изготовительном чертеже; библиотека примеров документирует монтаж подполья чистого помещения.

Связанные технические статьи