FRP グレーチング導入事例 | クリーンルーム上げ床 — ZeAllgrate

Class 1000（ISO 6）マイクロエレクトロニクスクリーンルームが、プロセス機器下の上げアクセスフロアタイル下に上げ床を必要としていました。上げ床はプロセスツールと保守台車の重量を支え、床下ユーティリティ（電力、ガス、排気）への安全なアクセスを提供し、そして決定的に重要なのは、技術者と台車がウェハを損傷する静電放電（ESD）を発生させないよう静電気を放散することでした。標準鋼製グレーチングは錆びて粒子を脱落させるため不採用、アルミはアウトガスし、導電コーティングが摩耗すると本質的な帯電防止性を持たないため不採用でした。

エンジニアは、制御された表面抵抗率、非アウトガス樹脂、粒子を脱落させない平滑エッジを備えた帯電防止（導電性）成形 FRP グレーチングを指定しました。顧客は秘密保持；本プロジェクトは秘密保持顧客、半導体ウェハ製造施設として記載されています。

ZeAllgrate は 38 mm 帯電防止成形 FRP グレーチング 750 m² をミニメッシュ 19×19 mm で供給し、すべての樹脂粉と加工残渣を除去するため出荷前に後硬化・洗浄を行いました。各パネルには 10⁶–10⁹ Ω/sq を示すロット別表面抵抗率証明書を添付し、導電性 SS304 クリップは床下接地バスに接着されて上げ床全体が連続 ESD 経路を形成しました。平滑で非アウトガスの表面は鋼製グレーチングのように粒子を脱落させず、オープンメッシュにより技術者はアクセスフロアタイルを持ち上げずに床下弁・ケーブルトレイにアクセスできます。

施工はクリーンルームフィットアウト段階間の2 週間の建設窓口で完了し、上げ床エリアはまだクレーンアクセス定格がなかったためパネルは手搬送されました。すべての切断縁はクリーンルーム空気流へのガラス繊維脱落を防ぐため工場で密封されました。