微細電子・クリーンルーム FRP グレーチングソリューション
微細電子・クリーンルームに FRP が必要な理由
半導体ファブは、粒子を落とさず、静電気を発生させず、強力なクリーンルーム薬品に耐久する材料を要求します。FRP グレーチング — 非発塵、静電安全、化学的不活性 — は世界で最も敏感な施設で歩留まりを守ります。- ウェハを汚染する粒子発塵
- 電子機器を損傷する静電放電
- 強力な洗浄薬品
- 腐食性工程ガス・排気
代表的な用途
クリーンルーム中2階
サブファブユーティリティ歩廊
工程ツールプラットフォーム
薬品保管エリア
CMP エリアアクセス
ウェハファブ保守デッキ
プロジェクトギャラリー
この業界で運用中の ZeAllgrate FRP グレーチング製品・施工の実例。
ファブクリーンルーム向け平滑非発塵 FRP 蓋
サブファブユーティリティ歩廊向け被覆 FRP パネル
ファブ工程ツールプラットフォーム向け成形 FRP パネル
各工程エリア向けソリューション
腐食性工程ゾーンから高往来アクセスルートまで、施設の各段階にマッピングされた設計 FRP ソリューション。
技術仕様・適合
微細電子・クリーンルーム向け用途別エンジニアリングリファレンス — 腐食等級、荷重基準、適用法規、推奨 ZeAllgrate 構成。これを仕様出発点として使用；最終設計は認定荷重/スパン図とプロジェクト適用法規に対して検証されなければなりません。
| パラメータ | 微細電子・クリーンルーム向け仕様 |
|---|---|
| 腐食レベル | 中 ウェットベンチ薬品、酸・ソープ蒸気、厳格な粒子・ESD 管理要件。 |
| 代表的荷重要件 | サブファブ・工程ツールプラットフォーム 50 psf（2.4 kN/m²）歩行者；上架床機器ゾーンはツール集中荷重（チラー、ポンプ）向けに設計。 |
| 適用規格・法規 | SEMI（機器・施設ガイドライン）、ISO 14644（クリーンルーム）、JEDEC（ESD/ESDS 管理）、FDA 21 CFR（医療機器ファブの場合）、OSHA 1910.132（PPE）・1910.22。 |
| 推奨樹脂システム | クリーンルーム向け ZeAll FDA 平滑・非発塵・低抽出性グレード；ウェットベンチ・薬品供給エリアに ZeAll VE；静電管理が指定される箇所に ESD 管理（導電性）オプション。 |
| 推奨グレーチングタイプ | 管理区域に成形 38.1 mm 平滑トップまたはソリッド被覆パネル；サブファブ・サービス回廊に引抜きプロファイル；粒子発塵リスクがある箇所では Mini-Mesh を回避。 |
樹脂システム：ZeAll VE（ビニルエステル — 厳しい腐食）、ZeAll ISO（イソフタル酸系ポリエステル — 汎用）、ZeAll FDA（食品・飲料グレード）、ZeAll FR（追加難燃）、フェノール（火災・煙重視）。グレーチングタイプ：成形（二方向）、引抜き（長スパン）、Mini-Mesh（細かい開口）、HLC（高荷重容量）。
クリーンルーム使用要件
| 要件 | ZeAllgrate の対応 |
|---|---|
| 非導電性構造 | FRP は本来非導電性；接地負担なし |
| 低粒子発塵 | 指定箇所に平滑被覆表面 |
| 薬品保管エリア | 酸・エッチング液接触にビニルエステル |
| 洗浄性 | 非多孔質・拭き取り清掃可能パネル；flush エッジ |
仕様指針
クリーンルーム中2階・サブファブ歩廊は、非導電性、低発塵、耐薬品性に対して仕様決定されます：往来デッキに平滑または被覆表面、エッチング液・酸が保管・流動する箇所にビニルエステル、たわみ限度を適用した荷重表を中2階グリッドに適用し、振動敏感ツール下でデッキを剛に保ちます。製作図でパネル方向・開口を調整；事例ライブラリがクリーンルームサブフロア設置を文書化しています。 クリーンルーム中2階・サブファブ歩廊は、非導電性、低発塵、耐薬品性に対して仕様決定されます：往来デッキに平滑または被覆表面、エッチング液・酸が保管・流動する箇所にビニルエステル、たわみ限度を適用した荷重表を中2階グリッドに適用し、振動敏感ツール下でデッキを剛に保ちます。製作図でパネル方向・開口を調整；事例ライブラリがクリーンルームサブフロア設置を文書化しています。
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